가스 속 수분 변화를 실시간으로 확인하는 초고감도 수분계
고순도 가스나 반도체 특수가스 라인에서는 아주 적은 양의 수분도 공정 품질에 영향을 줄 수 있습니다. FalconTrace는 이러한 가스 중에 포함된 극미량의 물 분자를 정량적으로 측정하여, 수분 유입이나 정제 성능 저하를 빠르게 확인할 수 있도록 설계된 온라인 수분 분석기입니다.
특히 FT-450WT 모델은 센서 유닛과 본체가 분리된 구조로, 가스 공급 패널, 실린더 캐비닛, 가스 정제기, 반도체 특수가스 공급 시스템 등에 내장하기 적합합니다.
반도체 현장에서 검증된 초미량 수분 모니터링 솔루션
FalconTrace FT-450WT는 반도체 특수가스 공급 시스템에서 요구되는 초미량 수분 관리를 위해 개발된 온라인 수분 분석기입니다. Ball Wave 자료에 따르면 FT-450WT는 대만의 최첨단 반도체 제조기업 공장에서 검증을 거쳐 특수가스 공급 시스템용 온라인 초미량 수분계로 인정받았습니다.
반도체 고객 검증 사례
FT-450WT는 대만 반도체 제조 현장에서 특수가스 공급 시스템용 온라인 수분계로 검증된 사례가 있습니다.
CRDS 대비 빠른 응답
비교 자료에서 CRDS는 목표값 검출에 약 780초가 소요된 반면, FalconTrace는 약 90초 이내에 설정값을 검출한 것으로 제시되어 있습니다.
교정 및 안정성 자료
NPL 교정 성적서와 반복성 및 장기 안정성 자료를 통해 Ball SAW 기반 수분 측정 기술의 신뢰성을 확인할 수 있습니다.
CRDS 방식과 비교되는 빠른 응답성
FalconTrace는 초미량 수분 측정에서 광학식 분석기인 CRDS와 비교하여 동등한 수준의 감도를 목표로 하면서도 빠른 응답성을 장점으로 합니다. 수분 농도 변화가 발생했을 때 목표값에 빠르게 도달하므로, 현장 라인의 이상 감지와 실시간 모니터링에 유리합니다.
업로드 자료의 비교 그래프에서는 CRDS가 목표값 검출에 약 780초가 소요된 반면, FalconTrace는 약 90초 이내에 설정값을 검출하는 것으로 설명되어 있습니다.
왜 FalconTrace가 필요한가?
FalconTrace는 단순한 수분계가 아니라, 반도체 특수가스 공급 라인에서 수분 유입을 빠르게 감지하기 위한 온라인 초미량 수분 모니터링 솔루션입니다. 대만 반도체 제조 현장 검증 사례, CRDS 방식과의 응답속도 비교, 반복성 및 장기 안정성 자료, NPL 교정 이력 등을 바탕으로 고순도 가스 품질 관리에 활용할 수 있습니다.
초미량 수분 감지
ppbv 수준의 극미량 수분까지 감지하여 고순도 가스 및 특수가스의 품질 관리에 적합합니다.
빠른 응답 속도
수분 농도 변화에 빠르게 반응하므로 실린더 교체나 라인 이상 발생 시 빠른 확인이 가능합니다.
온라인 모니터링
생산 라인, 가스 공급 라인, purifier 전후단 등에 연결하여 연속적인 수분 감시가 가능합니다.
Ball SAW 센서 측정 원리
FalconTrace의 핵심은 Ball Wave의 Ball SAW 센서입니다. 작은 구형 수정 표면을 따라 표면탄성파가 전파되고, 수분 분자가 감응막에 흡착될 때 발생하는 미세한 신호 변화를 측정하여 수분 농도로 환산합니다.
- 1 IDT 전극이 표면탄성파를 생성 Interdigital Transducer가 구형 수정 표면에 SAW 신호를 발생시킵니다.
- 2 파동이 구 표면을 따라 순환 표면탄성파가 구형 센서의 적도 방향으로 여러 번 전파됩니다.
- 3 수분 분자가 감응막에 흡착 가스 중 수분이 민감한 박막에 흡착되면 SAW 신호가 미세하게 변화합니다.
- 4 미세 신호를 누적하여 고감도 측정 반복 전파되는 신호 변화를 누적하여 초미량 수분을 감지합니다.
FalconTrace 제품 라인업
측정하고자 하는 수분 농도 범위, 설치 위치, 장비 내장 여부에 따라 모델을 선택할 수 있습니다.
FT-700WT Mk-II
Ultra Trace Moisture MeasurementFalconTrace 시리즈의 최상위 모델로, 초저수분 영역 측정과 다양한 배경가스 대응에 적합합니다.
- 이슬점 측정 범위: -110℃ ~ -42℃
- 농도 측정 범위: 1 ppbv ~ 100 ppmv
- 응답 속도: 30초 이내
- 산업가스 제조 및 출하 검사, 반도체용 고순도 가스 품질 관리
FT-450WT
Equipment Built-in High-end Model센서 유닛과 본체가 분리되어 장비 레이아웃 자유도가 높고, 반도체 특수가스 공급 시스템이나 purifier, cylinder cabinet 내장에 적합한 고급 모델입니다.
- 이슬점 측정 범위: -100℃ ~ -42℃
- 농도 측정 범위: 10 ppbv ~ 100 ppmv
- 응답 속도: 1초 이내
- Purifier system, gas panel, cylinder cabinet, 특수가스 공급 라인 내장용
FT-400WT
Real-time Middle Range Model중간 수분 영역에서 빠른 실시간 측정이 가능한 모델로, 일반 제조라인 및 배터리 제조 공정의 수분 모니터링에 적합합니다.
- 이슬점 측정 범위: -90℃ ~ 4℃
- 농도 측정 범위: 0.1 ppmv ~ 8000 ppmv
- 응답 속도: 1초 이내
- 배터리 제조 공정, 일반 제조라인 수분 관리
FalconTrace 주요 사양
아래 사양은 FalconTrace Trace Moisture Analyzer Series 기준입니다. 실제 적용 가스, 압력 조건, 설치 구성은 고객 공정 조건에 따라 사전 확인이 필요합니다.
| 항목 | FT-700WT Mk-II | FT-450WT | FT-400WT |
|---|---|---|---|
| 제품 포지션 | 초저수분 측정용 최상위 모델 | 장비 내장형 고급 모델 | 중간 수분 영역 실시간 모델 |
| 이슬점 측정 범위 | -110℃ ~ -42℃ | -100℃ ~ -42℃ | -90℃ ~ 4℃ |
| 농도 측정 범위 | 1 ppbv ~ 100 ppmv | 10 ppbv ~ 100 ppmv | 0.1 ppmv ~ 8000 ppmv |
| 응답 속도 | 30초 이내 | 1초 이내 | 1초 이내 |
| 사용 환경 온도 | 10℃ ~ 40℃ | 10℃ ~ 40℃ | 10℃ ~ 40℃ |
| 가스 압력 범위 | 대기압 / 100-300 kPa 조건 상담 | 100-300 kPa | 대기압 / 감압 조건 상담 |
| 대응 가스 | Air, N2, O2, Ar, He, H2, CO, CO2, CH4 등 상담 가능 | Air, N2, O2, Ar, He, H2, CO, CO2, CH4 등 상담 가능 | Air, N2, O2, Ar, He, H2, CO, CO2, CH4 등 상담 가능 |
| 유량 범위 | 0 ~ 1 L/min | 0 ~ 1 L/min | 0 ~ 1 L/min |
| 가스 연결 | 1/4 inch VCR plug | 1/4 inch VCR plug | 1/4 inch VCR plug |
| 인터페이스 | 4-20 mA, Ethernet, WiFi, USB | HDMI, WiFi, USB x 2 | 4-20 mA, WiFi, USB |
| 전원 | 100-240 VAC, 50/60 Hz | 100-240 VAC, 50/60 Hz | 100-240 VAC, 50/60 Hz |
| 소비전력 | 최대 100 W | 최대 150 W | 최대 150 W |
| 크기 | 449 x 376 x 222 mm | Sensor: 63 x 63 x 173 mm Main Unit: 186.5 x 228 x 106.5 mm |
355 x 315 x 132 mm |
| 중량 | 약 17 kg | Sensor 약 2 kg / Main Unit 약 2.5 kg | 약 9.5 kg |
주요 적용 분야
FalconTrace는 고순도 가스 품질 관리, 반도체 제조 공정, 배터리 제조 공정, 산업가스 제조 및 출하 검사 등 다양한 분야에서 활용할 수 있습니다.
반도체 특수가스 공급 시스템
특수가스 라인 내 수분 유입 여부를 실시간으로 감시하여 공정 안정화에 도움을 줍니다.
Cylinder Cabinet
실린더 교체, 퍼지, 공급 전환 과정에서 발생할 수 있는 수분 오염을 확인할 수 있습니다.
Gas Purifier 전후단
정제기 전후단 수분 농도를 비교하여 purifier 성능 확인 및 유지보수 판단에 활용할 수 있습니다.
산업가스 제조 및 출하 검사
고순도 가스 제조 공정 및 출하 전 품질 관리 장비로 활용할 수 있습니다.
배터리 제조 공정
수분 관리가 중요한 배터리 소재 및 제조 공정의 가스/분위기 모니터링에 적용할 수 있습니다.
일반 제조라인 수분 관리
제조라인 내 건조 가스, 공정 가스, 품질 관리용 수분 모니터링에 사용할 수 있습니다.
반도체 공정에서 중요한 초미량 수분 관리
반도체 제조 공정에서는 가스 내 수분이 배관 부식, 파티클, 공정 불량, 제품 품질 저하로 이어질 수 있습니다. 따라서 특수가스 라인에서는 ppm 수준보다 더 낮은 ppbv 수준의 수분 감시가 요구될 수 있습니다.
FalconTrace는 실시간 응답성과 초미량 수분 측정 성능을 바탕으로, 반도체 제조 현장의 gas cabinet, gas purifier, specialty gas supply line에 적합한 온라인 모니터링 솔루션을 제공합니다.
NPL 교정 이력 기반의 기술 신뢰성
FalconTrace 기술은 영국 National Physical Laboratory의 교정 성적서 자료를 보유하고 있습니다. 해당 성적서는 특정 Falcon Trace 장비를 대상으로 이슬점 기준 교정이 수행된 자료입니다.
이는 Ball SAW 기반 초미량 수분 측정 기술의 신뢰성을 설명하는 참고 자료로 활용할 수 있으며, 실제 프로젝트에서는 납품 장비별 교정 성적서와 적용 가스별 조건을 별도로 확인해야 합니다.
Ball Wave FalconTrace 제품 문의
반도체 특수가스 라인, cylinder cabinet, gas purifier, 고순도 가스 품질 관리 등 고객의 공정 조건에 맞는 FalconTrace 모델 선정과 설치 구성을 상담해드립니다.
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